為保持儀器表面清潔，可用洗滌劑稀釋后用干凈的紗布浸濕后擦拭，再用干凈濕紗布擦洗。

　　儀器中的透鏡應保持清潔，如發現不潔現象，可用脫脂棉蘸乙醇和yi醚的混合液擰干后擦拭。(混合液為：30%乙醇和70%yi醚)

　　原子化室內容易受酸氣和鹽類的侵蝕，因此透鏡前帽蓋和原子化器上會有白色沉淀物形成的斑點，可用干凈的紗布擦拭，以保持清潔。

　　原子熒光光譜法是一種痕量和超痕量分析方法。因此，在測定較高含量樣品時，應預先稀釋后進行測定，如不慎遇到*含量時(特別是Hg)則管路系統將受到嚴重 污染。處理方法可將載流/樣品進樣管放入10%HCl(V/V)溶液中，啟動蠕動泵不斷 進行清洗，如仍然難以清洗干凈時，則需更換聚四氟乙稀管路，一般情況下，均可得明顯改善，如仍有殘余難以清除情況下，則需對石英爐管情況，按照說明書將石英爐管拆下，用20—30%王水浸泡24小時左右。然后再用去離子水清洗干凈，晾干或置于烘箱內烘干后使用。